CF4常溫常壓下穩(wěn)定，避免強氧化劑、易燃物或可燃物。不可燃氣體，容器內(nèi)的壓力在遇到高熱時升高，有破裂和爆炸的危險?；瘜W性質(zhì)穩(wěn)定，不燃。在室溫下，只有液氨鈉金屬試劑才能起作用。儲存注意事項：存放于陰涼通風的不可燃氣體倉庫內(nèi)。遠離火源和熱源。儲存溫度不得超過30℃。應與可燃物、氧化劑分開存放，避免混裝存放。儲存區(qū)應配備泄漏應急處理設備。

　　1、可靠的監(jiān)測

　　高度敏感的DKG-ONECF4可以快速檢測生產(chǎn)環(huán)境中的污染物。另外，由于其零背景特性，直接吸收檢測可以確保長期的高穩(wěn)定性。DKG-ONECF4可以與其他檢測儀器（例如顆粒物監(jiān)測儀）集成在機柜中。

　　2、測量參數(shù)

　　CF4泄漏檢測響應時間：取決于用戶可定義的通道積分時間CIT和氣體沖洗設置。根據(jù)平均時間和采樣設置，其范圍從大約10秒到幾分鐘。

　　l監(jiān)控下限：小于0.1ppb。

　　l動態(tài)范圍：大于5個數(shù)量級（檢測下限的100,000倍）。

　　l可重復性：在操作條件下，校準的可重復性濃度小于1％。

　　l精度：校準濃度高于5％，受校正氣體。

　　l溫度穩(wěn)定性：環(huán)境溫度在工作溫度范圍內(nèi)變化不會引起漂移[h]l壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會引起漂移。

　　3、優(yōu)點

　　l準確，可靠且維護成本低潔凈室污染控制。

　　l快速響應時間以捕捉突然增加的情況在濃度。

　　l獨立操作系統(tǒng)中，內(nèi)置氣體交換泵

　　l無消耗品或化學試劑。

　　l光路短，單點校準也可以達到業(yè)界動態(tài)范圍。

　　l指揮一個吸收測量，無漂移。

　　l較長的校準間隔（長達數(shù)年）。

　　lCF4泄漏檢測具有很高的選擇性，沒有乙醛和其他VOC干擾。